四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備，用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。
四探針測試儀由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
四探針電阻測試儀的技術(shù)指標(biāo)：
1.方塊電阻范圍：10-4～2×103Ω/□
2.電阻率范圍：10-5～2×104Ω-cm
3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度：±0.2%讀數(shù)
5.電阻精度：≤0.3%
6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 普通單電測量
