四探針電阻率測試儀示值基本誤差的檢定有兩種檢定方法，用標準樣片的整體檢定方法和用模擬電路的分部件檢定法。可用其中任何一種方法進行檢定。用硅單晶電阻率標準樣片對電阻率測試儀進行整體檢定注：一般分為方塊電阻檢定和電阻率檢定，對于只能測量方塊電阻的測試儀就對該儀器進行方塊電阻檢定。對于既能測試方塊電阻又能測電阻率的電阻率測試儀，可對電阻率進行檢定。如果用戶提出只對方塊電阻進行檢定也可以只檢方塊電阻。
檢定的四探針電阻率測試儀應作絕緣電阻的測量。在儀器的探針之間或探針與儀器外殼之間可用遙表或其它方法測量其絕緣電阻，測量時工作電壓為（100～500）V, 絕緣電阻值不得低于500MΩ。檢定的電阻率測試儀，可進行絕緣強度即耐壓試驗，要求電流輸入端與機殼間應能承受1500V(有效值)交流電壓，歷時1min，無擊穿與飛弧現象。對此項試驗由送檢單位提出申請后方可進行，如未做耐壓試驗則應在檢定證書上注明。
將被檢儀器的電流值調到標準樣片允許通過作用的電流值以內，對12個標準樣片進行測量，每個樣片在反電流的情況下各測10次，每正反向測量一次將樣片轉動20°～30°，共計沒得20個數據。通常以電壓表讀數在10mV左右。用標準樣片檢定四探針電阻率測試儀，由檢定結果中找出zui大的相對誤差，如果zui大相對誤差超過儀器標定的準確度，則說明儀器超差。分部件檢定的電阻率測試儀。對于檢定后的各項指標都合格的電阻率測試儀，出具檢定合格證書。在證書中注明標準樣片的實際值和測量值，給出測量的誤差值，給出探針頭的修正系數。
如果要求給出全部探針指標，也可近十萬大山要給出全部探頭指標，若探頭為不合格，則必須指出哪項指標或n項指標不合格。對自動或半自動電阻率測試儀，只要有一項功能不合格要求時，就按不合格儀器處理。對于檢定后的有一項以上指標不合格的電阻率測試儀，出具檢定結果通知書并在通知書中注明不合格項目。此外在檢定證書或通知書中一股不用給檢定總不確定度，若用戶需要可滿足用戶要求。但必須注明，檢定時的溫度、、相對溫度及實驗室條件等項目。對檢定后不合格的電阻率測試儀經修理后仍需要重新按檢定要求檢定。檢定周期電阻率測試儀的檢定周期一般不超過1年，送檢時需要攜帶上一次檢定證書。
